Setra西特227表压复合压绝压高纯压力传感器详细内容
Setra西特227表压复合压绝压高纯压力传感器
Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式 “Block” 气
体棒和面板设计，能够满足如今 300 mm 工具的要求。该
型号占用空间仅 11/8″，能节省宝贵的空间 ；结构坚固，是
要求长期稳定性、和适合在恶劣环境使用的压力测
量应用于
·11/8″“Block”气体棒和面板
·高纯度气体输送系统
·半导体过程工具
的理想选择。
与其他采用大体积封头腔室的产品不同， Setra 227 型压
力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接
液部件均采用 VIM/VAR 316L 不锈钢制造，且表面钝化抛
光至 5 Ra（大 7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实
现气体输送。
227 型压力变送器可选 5 VDC、 10 VDC 或 4-20mA 三种输
出类型，精度达 ±0.25% FS 或 1.0% 读数。该型号可选符
合工业标准的 11/8″带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力接
口，另外还可使用多芯电缆、 4 针卡口接头和 9 针或 15 针
D-sub 接头进行电气连接。与 328 型 11/8″旋转显示屏配合
使用时， 227 型可实现理想的压力测量和显示。
零点和量程调整装置位于旋转保护罩下方的侧面。用户还
可选择绝压、表压或复合压测量范围。
高性价比
227 型压力变送器采用 Setra 砖利的可变电容技术，配有
316L 不锈钢隔膜和绝缘电板。绝缘电板与传感器本地
构成可变电容。当气体压力提升时，隔膜会变得略圆，使
电容减小。传感器将检测到电容变化，并基于砖利的电荷
平衡原理，通过 Setra 特的定制集成电路将其转换为高
精度的线性直流电信号。
Setra 所有的高纯系列产品都基于 Setra 成熟的电容传
感技术制造，能提供几乎不受 EMI/RFI 干扰的、稳
定的电压或电流输出信号。
▲
表压、复合压、绝压可选
▲
PSI或BAR量程可选
▲
11/8"下法兰安装
Setra 的227型传感器于当今的300mm工具所要求的高密度、模块式block
气体棒和面板。227型1-1/8"的占地面积优化了有的空间，其坚固的设计使
其非常适合那些要求长期稳定性、和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应
用。
与其它具有较大死端空泡体积的设计不同，227型具有一个方便洗涤的小排量
传感器舱。所有湿润部件均为VAR316LSS材料，电解抛光至5Ra（10
max.）的终饰。每一个传感器都经质谱仪进行过高达1x10-/sec的氦
渗漏试验。
可选择5VDC、10VDC或4-20mA输出，227型可提供±0.25%全量程或
±1.0%的读数精度。227型配备了一个节省空间的11/8"C型密封件下安装接口
底座，并可选择多芯电缆、4针bayonet连接器和一个9针或15针D型连接器
用于电气终端。加上327型的1-1/8"可旋转显示器，该产品包达到了压力测量
及显示的Ji致。
该特设计包括在旋转保护盖下面的侧接近至零点及范围调节，可选择绝队压、
表压或复合压。
Setra 获専利的可变电容传感器的特点在于一个316L不锈钢膜片和一个绝缘电Ji
板。在传感器主体和电Ji板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微
变圆，从而增加了电容。通过Setra 特的定制集成电路检测电容值的变化，并
利用获専利的电荷平衡原理将其转换成高度的线性DC电信号。
Setra 的整个高纯系列均基于Setra 的被广泛认可的电容传感技术，高度和
稳定的电压或电流输出信号基本上可抑制电磁干扰/射频干扰（EMI/RFI）。
应用
●模块式1-1/8"气体棒和面板
●高纯气体传输系统
●半导体工艺工具
好处
■出色的稳定性，可避免停机
■抗EMI/RFI功能防止停机
■符合CE标准
UltraHighPurity(高纯应用压力传感器)
我们提供所有Setra 产品的应用帮助，其中包括人员帮助和文献帮助，
而客户有责任确定该产品的适用性。
227型的技术规格
性能数据
jing确RSS*（恒定温度下）读数±1.0%或±0.25%全量程
非线性，BFSL±0.15%全量程
滞后0.20%全量程
非重复性0.02%全量程
热效应**
补偿范围oF（℃）+15至+150（-9到+65）
零点漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
范围漂移%FS/100oF（50℃）2.0（1.8）
加热漂移0.1%全量程
**在额定70oF下校验过的设备。
根据此数据而计算的大温度误差。
环境数据
温度
工作温度*oF（℃）-40至+185（-40到+85）
储存温度oF（℃）-40至+185（-40到+85）
*工作温度仅是电子设备的温度Ji限。
受压媒介的温度可能要高或低很多。
物理描述
外壳不锈钢
电气连接182.88cm.多芯电缆，Bayonet
连接器或D-型连接器
压力接头下安装“C”型密封
通风通过零点和范围接近孔
重量6.5oz（184g）
电气数据（电压）
电路3根导线（Exc、Out、Com）
激励10至30VDC（5VFSO）
13至30VDC（10VFSO）
输出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**
0至10VDC或0.2至10.2VDC**
电流消耗<8mA
*校准精度为50Kohm负荷，可操作5000ohm或大的负荷。
**零点输出的出厂设置在±25mV之内（限5VDC输出）
或±50mV（限10VDC输出）。
**范围（全量程）输出的出厂设置在±25mV之内
（限5VDC输出）或±50mV（限10VDC输出）。
电气数据（电流）
电路2根导线
输出*4至20mA**
外部负荷0至800Ohm
大电源电压（VDC）=10+0.02x（正Ji导线的电阻）。
大电源电压（VDC）=30+0.004x（正Ji导线的电阻）。
*出厂时以24VDC回路电压和一个250ohm负荷，进行校准。
**零点输出的出厂设置在±0.08mA之内。
**范围（全量程）输出的出厂设置在±0.08mA之内。
压力媒介
与316L不锈钢相兼容的液体或气体。
产品规格如有变，恕不另行通知。
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我们公司主要供应料位计,液位计,压力传感器等产品，我们的产品货真价实，性能可靠，欢迎电话咨询！
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