setra西特730系列真空电容式压力计

setra西特730系列真空电容式压力计

Setra 的 730 型是一款的电容式压力计（亦称电容
式膜片真空计 (CDG)），适合在光伏、半导体和工业市场
中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产品读数精
度达 ±0.5%，分辨，同类产品。 730 型使用全
InconelTM 接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介
质。由于采用直接测量设计，它能测量介质，不受应
用中气体混合物成分的影响。应用·半导体处理室·石化·等离子体器·真装，领域，

友情提示：

用户再定货前需要注明终用户和购买之前要经过美国方面审批从才可以订货，如填写虚用户一切责任由用户承担。此产品和西特的760，761，141产品受到严格管制，建议客户一次购买时多买一个做备件，此产品审批时间和订货周期都要比一般的西特的压力产品长很多。

特性
·：±0.5% 读数
·张紧的膜片保证优异的性能
·工作温度补偿范围宽
·回路噪声低，响应快
·不易受环境条件变化影响
·出色的抗过压设计
·符合 CE 和 RoHS 规范
应用
■ 耐化学品的 InconelTM 设计
■ 的低真空测量
■ 压力接头适合苛刻应用的产品
采用单膜片可变电容感应元件，适用于苛刻的半导体和工
业真空应用。它具有读数精度和分辨、动态范围宽的
特点，使之成为关键制造过程中的理想选择。
Inconel® 设计保证通用性
所有接液部件均采用 Inconel TM 材料，因此对半导体
和工业真空过程中的腐蚀性介质具有高的耐受性。
Inconel TM 材 料 结 合 全 焊 接 结 构， 确 保 730 型 在 这 类
应用中的长使用寿命。
直接压力测量
内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业
电容式压力计不同， 730 型测量直接压力，不受被测
混合气的影响，这使其精度间接测量型压力计。

技术规格：
电压输出
电路3线
激励14-30VDC;9-30VDC
输出0-10VDC**;0-5VDC**
输出阻抗<1Ω
功耗<200mW
CE认证89/336/EEC重工业标准
MODEL720的环境参数
工作温度-20～+80℃(-4～+176℉)
存储温度-40～+125℃(-40～+257℉)
冲击50g
MODEL730的温度影响
补偿范围0～+50℃(+32～+122℉)
零点漂移±0.005%FS/℃(±0.01%FS/℉)
量程漂移±0.027%RDG/℃
物理参数
壳体不锈钢
电气连接9针D型插座
压力连接见订购指南
接液部件InconelRRRRR
压力介质与InconelRRRRR相容的液体或气体.InconelRRRRR接液部分仅配0.5″管的压力接头.选择其它的压力接头需要加不锈钢.
重量(约)137克
腔体体积<6.2立方厘米
MODEL730的性能参数
精度±0.5%FSBBBBBBBBBB±0.25%FS(可选)
响应时间20ms
长期稳定性±0.5%FS/年
分辨率无限,仅受输出噪声的限制(0.01%FS)